รายละเอียด:
การสเปรย์แม็กเน็ทเป็นอีกหนึ่งรูปแบบของเทคโนโลยีเคลือบ PVD
เคลือบพลาสม่า
การสปัตเตอร์แม็กเน็ทเป็นกระบวนการเคลือบด้วยพลาสม่าซึ่งจะทำให้วัสดุสปัตเตอร์ถูกไล่ออกเนื่องจากการทิ้งไอออนออกสู่พื้นผิวเป้าหมาย ห้องสุญญากาศของเครื่องเคลือบ PVD เต็มไปด้วยก๊าซเฉื่อยเช่นอาร์กอน เมื่อใช้แรงดันไฟฟ้าสูงจะมีการปล่อยประจุไฟฟ้าออกมาทำให้เกิดการเร่งตัวของไอออนไปยังพื้นผิวเป้าหมายและการพ่นเคลือบด้วยพลาสม่า ไอออนของอาร์กอนจะขับวัสดุสปัตเตอร์ออกจากพื้นผิวเป้าหมาย (การสปัตเตอร์) ส่งผลให้ชั้นเคลือบลุกลามไปยังผลิตภัณฑ์ข้างหน้าเป้าหมาย
การปะทุที่เป็นปฏิกิริยา
มักใช้ก๊าซเพิ่มเติมเช่นไนโตรเจนหรืออะเซทิลีนซึ่งจะทำปฏิกิริยากับวัสดุที่นำออกมา (การพ่นไอน้ำ) สามารถเคลือบผิวเคลือบด้วย PVD ได้หลายแบบ เทคโนโลยีการสปัตเตอร์แม่เหล็กเป็นประโยชน์มากสำหรับการเคลือบ decretive (เช่น Ti, Cr, Zr และ Carbon Nitrides) เนื่องจากธรรมชาติที่ราบรื่น ข้อดีเช่นนี้ทำให้สามารถใช้สกรูเทอร์มิเตอร์ magnetron ในการเคลือบผิว tribological ในตลาดรถยนต์ (เช่น CrN, Cr 2 N และชุดผสมต่างๆที่มีการเคลือบ DLC เช่น Diamond Like Carbon coating)
สนามแม่เหล็ก
การสปัตเตอร์แม็กเน็ทค่อนข้างแตกต่างจากเทคโนโลยีสปัตเตอร์ทั่วไป ความแตกต่างก็คือ magnetron sputtering technology ใช้สนามแม่เหล็กเพื่อให้พลาสมาอยู่ข้างหน้าเป้าหมายทำให้เกิดการข่มขืนไอออนมากขึ้น พลาสม่าที่มีความหนาแน่นสูงเป็นผลมาจากเทคโนโลยีเคลือบ PVD นี้
เทคโนโลยีการสปัตเตอร์แม่เหล็กเป็นลักษณะโดย:
กำลังสปิตเตอร์สูงสุด | |
เป้าหมายทางอ้อมเย็น | > 20 วัตต์ / เซนติเมตร 2 (DC) |
> 7 วัตต์ / ซม. 2 (RF) | |
แรงดันจ่าย / | 100 ถึง 1500 โวลต์ |
กระแสจำหน่าย | > 0.05 amps / cm 2 |
ความดันการทำงาน | 0.05 ถึง 5 พันบาท |
เป้าหมายการใช้ประโยชน์ | > 35% |
เป้า | |
ฟอร์ม | สี่เหลี่ยม / ระนาบ |
ความหนา | 6mm ~ 16mm |
ความกว้าง | 125mm |
การติดตั้ง | ภายในภายนอก |