แมกนีตรอนสปัตเตอริงใช้กันอย่างแพร่หลายในการฝากโลหะทนไฟ เช่น แทนทาลัม ไททาเนียม ทังสเตน, ไนโอเบียมซึ่งจะต้องมีอุณหภูมิสะสมสูงมากและโลหะมีค่า: ทองและเงิน และยังใช้สำหรับการสะสมของโลหะที่มีจุดหลอมเหลวที่ต่ำกว่า เช่น ทองแดง อะลูมิเนียม นิกเกิล โครเมียม เป็นต้น
แทนทาลัมมักใช้ในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ อุตสาหกรรม เป็นสารเคลือบป้องกันเนื่องจากทนต่อการกัดเซาะได้ดี.
การใช้ฟิล์มบางแทนทาลัมสปัตเตอร์:
1. อุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิคส์เนื่องจากฟิล์มสามารถสปัตเตอร์แบบรีแอกทีฟ จึงสามารถควบคุมค่าความต้านทานและค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิของความต้านทานได้
ข้อดีทางเทคนิค
ระบบการทับถมแทนทาลัมสปัตเตอร์ที่ได้มาตรฐานของ Royal Technology:
การกำหนดค่าหลัก | |
แบบอย่าง | RTAS1000 |
เทคโนโลยี |
การสปัตเตอร์แมกนีตรอน DC แบบพัลส์ การชุบอาร์คแบบ Cathodic (สำหรับตัวเลือกที่กำหนดโดยกระบวนการเคลือบ) |
วัสดุห้อง | สแตนเลส (S304) |
ขนาดห้อง | Φ1000*1000มม. (ส) |
ประเภทห้อง | รูปตัว D ห้องทรงกระบอก |
แร็คหมุน & ระบบจิ๊ก | ระบบขับเคลื่อนด้วยดาวเทียมหรือระบบขับเคลื่อนส่วนกลาง |
พาวเวอร์ซัพพลาย |
แหล่งจ่ายไฟ DC Sputtering: 2~4 ชุด แหล่งที่มาของไอออน: 1 ชุด |
เอกสารการฝากเงิน | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu เป็นต้น |
แหล่งเงินฝาก | แคโทดสปัตเตอร์ระนาบ + แคโทดอาร์ควงกลม |
ควบคุม | PLC (คอนโทรลเลอร์ลอจิกที่ตั้งโปรแกรมได้) + IPC (รุ่นการทำงานแบบแมนนวล+ อัตโนมัติ+ กึ่งอัตโนมัติ) |
ระบบปั๊ม | ปั๊มใบพัดหมุน: SV300B – 1 ชุด (เลย์โบลด์) |
Roots Pump: WAU1001 – 1 ชุด (เลย์โบลด์) | |
ปั๊มหอยโข่ง D60C – 1 ชุด (เลย์โบลด์) | |
ปั๊มโมเลกุลแม่เหล็กแขวนลอย: MAG2200 – 2 เซ็ต (เลย์โบลด์) |
|
ตัวควบคุมการไหลของมวลก๊าซ | 2 ช่อง Ar และ N2 |
เกจวัดสูญญากาศ | Inficon หรือ Leybold |
ระบบความปลอดภัย | อินเตอร์ล็อคเพื่อความปลอดภัยจำนวนมากเพื่อปกป้องผู้ปฏิบัติงานและอุปกรณ์ |
เครื่องทำความร้อน | เครื่องทำความร้อน: 20KW.แม็กซ์อุณหภูมิ: 450℃ |
คูลลิ่ง | ตู้แช่อุตสาหกรรม (น้ำเย็น) |
เพาเวอร์แม็กซ์ | 100KW (โดยประมาณ) |
การใช้พลังงานเฉลี่ย | 45 กิโลวัตต์ (โดยประมาณ) |
น้ำหนักรวม | ที (โดยประมาณ) |
รอยเท้า | (L*W*H) 4000*4000 *3600 มม |
พลังงานไฟฟ้า |
AC 380V/3 เฟส/50HZ / 5 สาย |
ภายใน:
สร้างเวลา: 2018
ที่ตั้ง: ประเทศจีน
โปรดติดต่อเราสำหรับแอปพลิเคชันและข้อกำหนดเพิ่มเติม