สไลเดอร์แก้วเคลือบทองและเวเฟอร์ซิลิคอนใช้กระบวนการ PVD ของ DC แมกตรอนสปัตเตอริงเพื่อฝากเลเยอร์ฟิล์มบางโลหะ Au บนพื้นผิวเช่น: สไลด์แก้วซิลิคอนเวเฟอร์เครื่องประดับโลหะเหล็กแก้วและเซรามิกเครื่องใช้อื่น ๆ ยกเว้น Au สปัตเตอร์ ยังสปัต Ag Ag, ทองแดงทองแดง, Al Aluminium, Cr Chrome, SS สแตนเลสสตีล 316L ฯลฯ สำหรับภาพยนตร์เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าหรือการตกแต่งที่หรูหราสูง
คุณสมบัติชั้นสปัตเตอร์สีทอง:
1. Ti หรือ Cr Adhesion layer ระหว่างพื้นผิวและชั้นทองขอแนะนำให้ปรับปรุงการยึดเกาะ
2. ความหนาของชั้นทอง: อยู่ในช่วงตั้งแต่ 10 ~ 100nm ขึ้นอยู่กับการใช้งานด้านออพติคอลที่แตกต่างกัน
3. ความ roughtness (RMS - รูทค่าเฉลี่ยกำลังสอง) <40Åเป็นที่คาดหวังสำหรับการใช้งานส่วนใหญ่ สำหรับการใช้งานโพรบสแกนบางประเภทอาจจำเป็นต้องใช้ความหยาบน้อยกว่าโดยทั่วไปประมาณ 1.5 ~ 4 นาโนเมตร
4. ความบริสุทธิ์ของพื้นผิวเลเยอร์ทองสปัตเตอร์: จำเป็นต้องใช้พื้นผิวที่สะอาดสำหรับแอปพลิเคชันที่ใช้การแก้ไขพื้นผิวทอง ระดับของสูญญากาศในระบบความบริสุทธิ์ดั้งเดิมของแหล่งทองคำและประวัติของโลหะที่ใช้ในระบบนั้นขึ้นอยู่กับกระบวนการที่ใช้ PVD ระดับความบริสุทธิ์ของฟิล์มบางทองคำอาจแตกต่างกันอย่างมาก
ในฐานะที่เป็นเทคโนโลยีการเคลือบขั้นสูงซึ่งสามารถลดต้นทุนการผลิตได้มากถึง 80% และที่สำคัญที่สุดคือการตกแต่งพื้นผิวที่ยอดเยี่ยม
Au Gold Mangetron ระบบสปัตเตอริง Hightlights:
เทคโนโลยี ROYAL เครื่องพ่นทอง Ag พร้อมใช้งานสำหรับผู้ผลิตที่กำลังมองหาผลผลิตสูงและการแก้ปัญหาการเคลือบที่เรียบง่าย
การออกแบบที่แข็งแกร่ง, ชุดใหญ่, รอบเร็ว, กระบวนการเคลือบที่มีความยืดหยุ่นเป็นแนวคิดการออกแบบขั้นพื้นฐานที่ทีม ROYAL ดำเนินการมา
Au Gold Mangetron แบบจำลองระบบสปัตเตอร์
ข้อกำหนด มาตรฐาน | |||||||
แบบ | ขนาด (mm) | อุปกรณ์จับยึด (จำนวน) | สปัตเตอร์ เพาเวอร์ (kVA) | สปัตเตอร์ เป้าหมาย (จำนวน.) | สปัตเตอร์ แคโทด | เอ็มเอฟ | สังเกต |
RTSP1250 | ROYAL1250xH1250 | 6 | 2 * 30DC / MF | 2 | สมดุลไม่สมดุล | 2 ~ 4 ขึ้น บน coatingprocess | คุณภาพสูง เครื่องประดับ การเคลือบผิว |
RTSP1400 | ROYAL1400xH1250 | 6,8 | 2 * 36DC / MF | 2 | |||
RTSP1600 | ROYAL1600xH1250 | 6,8,12 | 2 * 48DC / MF | 2 | |||
ROYAL - RTSP Customized | |||||||
RTSP900 | ROYAL900xH900 | 1 | 1 * 12DC | 1 | เป็นมุมฉาก | 4 | ล. |
RTSP1315 | ROYAL1300xH1500 | 1 | 1 * 48DC | 1 | เป็นมุมฉาก | 4 | |
RTSP1618 | ROYAL1600xH1800 | 2 | 2 * 72DC | 2 | เป็นมุมฉาก | 4 | |
RTSP800 | ROYAL800xH800 | 1 | 2 * 50DC | 4 | กระบอก | 3 | |
RTSP1616 | ROYAL1600xH1600 | 6,8 | 2 * 36DC | 2 | เป็นมุมฉาก | 2 | 2 ประตู |