คุณสมบัติอุปกรณ์เคลือบ PVD เซรามิก:
1. ห้องสุญญากาศเป็นแนวตั้งหนึ่งประตูเปิด 304 ผลิตสแตนเลส เส้นผ่านศูนย์กลางภายในห้องสุญญากาศจาก φ1400mm-Φ2000mm
2. ระบบสุญญากาศโดยปั๊มใบพัดโรตารี่ ปั๊มรูต และปั๊มกระจายน้ำมัน หรือ รัฐธรรมนูญปั๊มโมเลกุล
3. ระบบเคลือบใช้แม่เหล็กความถี่กลาง 1-2 เพื่อควบคุมแหล่งพลังงานสปัตเตอร์ มีแม่เหล็กไม่สมดุล 1-2 คู่เพื่อควบคุมเป้าหมาย และมีแหล่งอาร์ค 14-40
4. แหล่งพลังงานอคติพัลส์ที่มีประสิทธิภาพสูง
5. ระบบการแปรสภาพเป็นแก๊สใช้ที่ผลิตในประเทศหรือนำเข้าเครื่องวัดมวลก๊าซ เครื่องวัดปริมาณการไหลของก๊าซควบคุม (สาธิต)
6. วงจรไฟฟ้าสำหรับจัดตั้งระบบควบคุมด้วยไฟฟ้าโอเวอร์โหลด, ตัดการจ่ายน้ำ, ตายอุปกรณ์เตือนภัย acousto-optics;
7. ระบบควบคุม (หน้าจอสัมผัส + PLC) พารามิเตอร์แสดงรายละเอียดแบบเรียลไทม์ ควบคุมกระบวนการผลิตทั้งหมดโดยอัตโนมัติอย่างสมบูรณ์ และพารามิเตอร์เทคโนโลยีหน่วยความจำอัตโนมัติ
อุปกรณ์เคลือบ PVD - RTAC1618 Specifications
| แบบอย่าง | RTAC1618 | ||
| วัสดุ | สแตนเลส (S304) | ||
| ขนาดห้อง | Φ1600*1800mm (ส) | ||
| ระบบปั๊ม | ปั๊มสุญญากาศลูกสูบโรตารี (เครื่องกล) | ||
| ปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุน (โฮลดิ้ง) | |||
| ปั๊มสุญญากาศราก | |||
| ปั๊มกระจาย | |||
| เทคโนโลยี | การชุบไอออน (แหล่งหลายอาร์ค) | ||
| เป้าหมายทั่วไป | โครเมียม ไทเทเนียม เซอร์โคเนียม TiAl | ||
| แก๊ส | เครื่องวัดอัตราการไหลของก๊าซ ( Ar, N2,) อาร์กอน ไนโตรเจน | ||
| ควบคุม | PLC (คอนโทรลเลอร์ลอจิกที่ตั้งโปรแกรมได้) | ||
| ระบบความปลอดภัย | อินเตอร์ล็อคเพื่อความปลอดภัยจำนวนมากเพื่อปกป้องผู้ปฏิบัติงานและอุปกรณ์ | ||
| คูลลิ่ง | น้ำหล่อเย็นรีไซเคิล | ||
| เครื่องทำความร้อน | เครื่องทำความร้อนสูงถึง 300 ℃ | ||
| เพาเวอร์แม็กซ์ | 150KW (โดยประมาณ) | ||
| การใช้พลังงานเฉลี่ย | 70KW (โดยประมาณ) | ||
อุปกรณ์เคลือบ PVD เซรามิกใช้เทคโนโลยีการชุบด้วยไอออนเพื่อระเหยโลหะที่เป็นของแข็ง เช่น ไททาเนียม, โครม โดยแหล่งกำเนิดอาร์คแคโทดิกและควบแน่นโลหะที่แตกตัวเป็นไอออนบนพื้นผิวผลิตภัณฑ์เพื่อสร้างฟิล์มบางนาโนในสภาพแวดล้อมที่มีสุญญากาศสูงด้วยก๊าซปฏิกิริยา เช่น ไนโตรเจนสร้างสีต่างๆ
ขนาดเครื่องที่กำหนดเองอื่น ๆ มีให้ตามขนาดผลิตภัณฑ์ที่ระบุและความต้องการกำลังการผลิต
แบบอย่าง | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
| ขนาดภายในห้อง | 1000x800mm | 1000x1200mm | 1200x1500mm | 1400x1600mm | 1600x1600mm | ||||||
| ประเภทแหล่งจ่ายไฟ | แหล่งจ่ายไฟอาร์ค, แหล่งจ่ายไฟแบบเส้นใย, แหล่งจ่ายไฟแบบอคติพัลส์ | ||||||||||
| โครงสร้างของห้องสุญญากาศ | โครงสร้างประตูหน้าแนวตั้ง ระบบระบายอากาศด้านหลัง และห้องระบายความร้อนด้วยน้ำสองชั้น | ||||||||||
| วัสดุของห้องสุญญากาศ | สแตนเลส 304/316L | ||||||||||
| สุดยอดสุญญากาศ | 6.0x10-4Pa (ขนถ่าย ทำความสะอาด ห้องอบแห้ง) | ||||||||||
| ความเร็วในการปั๊มสุญญากาศ | จากบรรยากาศเป็น 8.0*10-3Pa ≤15 minutes | ||||||||||
| ระบบปั๊มสุญญากาศ | ปั๊มกระจายหรือปั๊มโมเลกุล + ปั๊มรูต + ปั๊มกลไก + ปั๊มจับ (สามารถเลือกรุ่นเฉพาะได้ตามความต้องการของลูกค้า) | ||||||||||
| แหล่งอาร์ค | 6 หน่วย หรือ 8 ยูนิต | 8 หน่วยหรือ 10 ยูนิต | 10 หน่วยหรือ 12 ยูนิต | 14 หน่วยหรือ 16 ยูนิต | 16 หน่วย หรือ 18 ยูนิต | ||||||
| แหล่งจ่ายไฟอคติ | 20KW/ชุด | 20KW/ชุด | 30KW/ชุด | 40KW/ชุด | 50KW/ชุด | ||||||
| โมเดลการขับขี่ | การหมุนและการหมุนของดาวเคราะห์ การควบคุมความเร็วของความถี่ตัวแปร (ควบคุมและปรับได้) | ||||||||||
| ระบบทำความร้อน | ควบคุมและปรับได้จากอุณหภูมิห้องถึง 450 °C (ควบคุมอุณหภูมิ PID) | ||||||||||
| MFC | ระบบแสดงและควบคุมการไหลของก๊าซแบบ 3 ทางหรือ 4 ทาง เลือกระบบแก๊สอัตโนมัติแบบเลือกได้ | ||||||||||
| ระบบทำความเย็น | โหมดการระบายความร้อนด้วยน้ำ, หอน้ำหล่อเย็นหรือเครื่องทำน้ำเย็นอุตสาหกรรมหรือระบบทำความเย็นแบบลึก(จัดให้โดยลูกค้า) | ||||||||||
| โหมดควบคุม | โหมดการรวมด้วยตนเอง/อัตโนมัติ การทำงานของหน้าจอสัมผัส PLC หรือการควบคุมคอมพิวเตอร์ | ||||||||||
| พลังทั้งหมด | 30KW | 35KW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
| สัญญาณเตือนและการป้องกัน | สัญญาณเตือนการขาดแคลนน้ำ กระแสเกินและแรงดันเกิน วงจรเปิด และสภาวะผิดปกติอื่นๆ ของปั๊ม เป้าหมาย และอื่นๆ และดำเนินมาตรการป้องกันที่เกี่ยวข้องและฟังก์ชันอินเตอร์ล็อคด้วยไฟฟ้า | ||||||||||
| พื้นที่อุปกรณ์ | W2.5m*L3.5m | W3m*L4m | W4m*L5m | W4.5m*L6m | W5m*L7m | ||||||
| พารามิเตอร์ทางเทคนิคอื่นๆ | แรงดันน้ำ ≥0.2MPa อุณหภูมิของน้ำ ≤25°C แรงดันอากาศ 0.5-0.8MPa | ||||||||||
| หมายเหตุ | การกำหนดค่าเฉพาะของอุปกรณ์การเคลือบสามารถออกแบบตามความต้องการของกระบวนการของผลิตภัณฑ์เคลือบ | ||||||||||
ตะไบเซรามิก ตัวอย่างการเคลือบ PVD
โปรดติดต่อเราเพื่อขอรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology รู้สึกเป็นเกียรติที่ได้นำเสนอโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจรแก่คุณ
