การใช้งาน:
เครื่อง RTSP1213 เป็นระบบแบบสปัตเตอร์แบบแบทช์สามารถฝากสารเคลือบแข็งต่าง ๆ สารเคลือบผิวอ่อนนุ่มสารผสมและฟิล์มหล่อลื่นแข็งบนพื้นผิววัสดุที่เป็นโลหะและไม่ใช่โลหะ นำไปใช้กับอุตสาหกรรมของรถยนต์เซลล์เชื้อเพลิงไฮโดรเจนผลิตภัณฑ์โฟโตนิกส์การบินและอวกาศและอุตสาหกรรมพลังงานใหม่อื่น ๆ
คุณสมบัติ:
เพื่อปรับปรุงการนำไฟฟ้าของพื้นผิว;
ความต้านทานการกัดกร่อนสูง
ความต้านทานการสึกหรอสูง
ความแข็งสูง
ฟิล์มผสมน้ำและฟิล์มหน้าที่อื่น ๆ
มีจำหน่ายสำหรับการเคลือบแบบผสม: ฟิล์มโลหะและไม่ใช่โลหะ
ความหนาของฟิล์มตั้งแต่ 100 นาโนเมตรถึง12μmความอดทนความหนา± 5%
การยึดเกาะที่แข็งแกร่ง
การชุบผิวชิ้นส่วนที่มีอุณหภูมิต่ำ
ประเภท:
การวางแนวตั้ง, โครงสร้างรูปทรงหลายเหลี่ยม, 2 ประตู (ด้านหน้าและด้านหลัง)
คุณสมบัติ:
ข้อกำหนดทางเทคนิค
1. ความดันสูญญากาศที่ดีที่สุด: ดีกว่า 8.0 * 10 -5 Pa;
3. สูบน้ำเวลา: จาก atm ถึง 1.0 × 10 - 3 Pa≤15นาที (อุณหภูมิห้อง, แห้ง, ห้องสะอาดและว่างเปล่า)
4. แหล่งที่มาของการสะสม: แคโทดสปัตเตอร์แบบสมดุล / ไม่สมดุล
5. รูปแบบการดำเนินงาน: เต็มอัตโนมัติ / กึ่งอัตโนมัติ / ด้วยตนเอง
6. เครื่องทำความร้อน: จากอุณหภูมิห้องสูงสุด 450 ℃,
7. การทำความสะอาดพลาสม่าและการทับถมของพลาสมาช่วย: แหล่งกำเนิดไอออนเชิงเส้นแอโนด
8. ปิดแม่เหล็ก - วนรอบยื่น (ไม่สมดุล / แคโทดสมดุล)
9. แหล่งจ่ายไฟไบอัสสำหรับการปล่อยแสง
เครื่องเคลือบสูญญากาศมีระบบที่สำคัญเสร็จสมบูรณ์อยู่ด้านล่าง:
1. ห้องสูญญากาศ
1.1 ขนาด: เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 1200 มม
ความสูงด้านใน: 1300 มม
1.2 วัสดุ: ห้องสูญญากาศ SUS304
บานประตูและหน้าแปลน SUS304
โครงสร้างห้องเสริมสร้าง: เหล็กอ่อน SS41 ด้วยการรักษาพื้นผิวทาสี
แชสซีแชมเบอร์ SS41 เหล็กอ่อนพร้อมการทาสีผิวสำเร็จ
1.3 โล่สปัตเตอร์: SUS304
1.4 หน้าต่างมุมมอง: ที่ประตูห้อง - 4 ชุด (2 ในแต่ละประตู)
1.5 วาล์วสุญญากาศสำหรับระบายห้อง (รวมถึงตัวเก็บเสียง)
1.6 ประตู: วัสดุ SUS304
2. Rou ghing ระบบปั๊มสุญญากาศ :
น้ำมันปั๊มสุญญากาศใบพัดหมุน + ปั๊มราก + ปั๊มโฮลดิ้ง (Leybold)
3. ระบบสูบน้ำสูญญากาศสูง :
แม่เหล็กระงับโมเลกุลปั๊ม (Leybold)
4. การควบคุมไฟฟ้าและระบบปฏิบัติการ - PLC + หน้าจอสัมผัส
4.1 วงจรหลัก: สวิตช์เบรกเกอร์แบบไม่มีฟิวส์, สวิตช์แม่เหล็กไฟฟ้า, C / T เป็นชนิดอนุกรม
4.2 แหล่งจ่ายไฟสปัตเตอร์ + แหล่งจ่ายพลังงานไอออน + แหล่งจ่ายไฟไบอัส (พลังงานขั้นสูง)
4.3 ระบบควบคุมการทับถม
4.4 ระบบปฏิบัติการ: หน้าจอสัมผัส + PLC, การควบคุมสูตรและการบันทึกข้อมูล, ปิดอัตโนมัติ, การอพยพอัตโนมัติ, การเคลือบอัตโนมัติ
4.5 ระบบการวัด
ความดันสูญญากาศ: เกจวัดสูญญากาศ: Pirani + Penning gauge + เกจสูญญากาศแบบเต็มรูปแบบ - แบรนด์ยุโรป
อุปกรณ์วัดอุณหภูมิ: เทอร์โมคัปเปิล
MFC: Mass Flow Controller (4 วิธี), โหมดการแสดงผลดิจิตอล - แบรนด์ยุโรป
4.6 ระบบเตือนภัย: แรงดันอากาศอัด, ระบายความร้อนด้วยน้ำ, การทำงานที่ผิดพลาด
4.7 ตัวบ่งชี้กำลังไฟ: ไฟแสดงสถานะแรงดันไฟฟ้าและไฟกระแสโหลด
5 . ระบบการสะสม
5.1 แหล่งที่มาสะสม: แคโทดสปัตเตอร์แหล่งกำเนิดไอออน - แบรนด์ยุโรป
5.2 วัสดุสะสม: เป้าหมายคาร์บอน
6. ระบบย่อย
6.1 ระบบควบคุมวาล์วอัดอากาศ
6.2 ระบบน้ำหล่อเย็น: ท่อน้ำไหลและระบบสวิทช์วาล์ว
7. สภาพแวดล้อมการทำงาน
อัดอากาศ: 5 ~ 8kg / cm2
น้ำหล่อเย็น: อุณหภูมิของน้ำ: 20 ~ 25 ℃, 200 ลิตร / นาที
แรงดันน้ำ: 2 ~ 3 กก. / ซม. 2,
พลังงาน: 3 เฟส 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, การใช้พลังงานเฉลี่ย: 40KW
พื้นที่ติดตั้ง: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200 มม
ไอเสีย: Vent สำหรับปั๊มเชิงกล
ทำไมต้องเป็นเรา
เครื่องจักรการผลิตขั้นสูง (การกัด, การเชื่อม, การตัด, การทดสอบการรั่วของสูญญากาศ) รวมกับขั้นตอนการผลิตที่ได้มาตรฐานและการทดสอบที่เข้มงวดทำให้ Royal Technology สามารถผลิตระบบการเคลือบที่มีคุณภาพสูงเชื่อถือได้และต้นทุนต่ำ
คุณภาพการบริการและการส่งมอบที่ตรงเวลาเป็นหลักการสำคัญของธุรกิจของ Royal Technology กลยุทธ์ของการจ้างส่วนประกอบอย่างง่ายเปิดเผยกับผู้ผลิตมืออาชีพช่วยให้เราสามารถมุ่งเน้นความสนใจไปยังส่วนที่สำคัญและส่วนประกอบ R & D, การผลิต
นโยบายการควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวดและการเลือกซัพพลายเออร์ที่ผ่านการรับรองอย่างเข้มงวดทำให้ลูกค้าของ Royal Technology ได้รับอุปกรณ์ที่ทันสมัยและมีคุณภาพสูงในราคาที่เหมาะสมที่สุด
กรุณาติดต่อเราสำหรับรายละเอียดเพิ่มเติม Royal Technology ได้รับเกียรติให้บริการโซลูชั่นการเคลือบแบบครบวงจร
หากต้องการดาวน์โหลดโบรชัวร์ที่เสร็จสมบูรณ์โปรดคลิกที่นี่: R&D เครื่องเคลือบสูญญากาศ - PECVD + PVD depositio ...